EUV光源，即13.5納米波長的極深紫外光，是實現“超精密電路雕刻”的核心，直接決定了芯片的最小線寬、集成度與性能上限。
只需一次曝光，就能把掩膜版上的電路圖，復制到晶圓表層。
而傳統的DUV光刻機，需通過“多重曝光”，才能形成芯片所需的精細線路。
具體來說，就是要對同一區域的光刻膠進行2到4次光刻與顯影操作，最終效果才相當于EUV光刻機一次曝光所能達到的水平。
梁勁松從格羅方德、聯華電子手里購買的NXT1950iDUV光刻機，雖然也能生產14納米、乃至10納米的芯片，但必須利用多重曝光工藝。
然而，多次曝光會導致光刻步驟增加，生產周期變長、良品率驟減、成本迅速上升，至少要高個30到50。
這也是為何阿斯麥只要不向華國的Fab工廠出售EUV光刻機，便能牢牢卡住整個半導體行業脖子的主要原因。
即便掌握了其他關鍵技術，也會因制造成本居高不下，從而失去商業價值與市場競爭力。
就拿同一款芯片產品來說，高通以20美幣的價格出售仍有毛利可賺，但國內芯片制造商若同樣以20美幣的價格售賣，反而要虧損三成。
面對這樣的成本與盈利差距，采購方自然不愿買單。
陳延森提出的磁約束放電激發方式，則放棄了激光轟擊液態金屬錫、激發極深紫外光的方案，轉而采用在強磁場約束下，通過高功率脈沖放電，在金屬錫靶表面產生穩定、高亮度等離子體的技術路徑。
優點顯而易見，固態靶材加高壓放電，機械結構更簡單，穩定性更高。
這是一項差異化極大的技術，可以繞過大量現有的LPP專利壁壘墻。
“辛苦了，繼續在磁約束放電激發技術的基礎上，深耕延伸專利，以防歐美的半導體公司使用微創新的手段，反過來限制我們。”
陳延森在聽完林南的匯報后，當即叮囑道。
高通為什么栽了？
還不是他在射頻、通信解碼等技術上，設置了全新的專利壁壘，把高通的出口給堵住了。
要不然，保羅·雅各布能心甘情愿地與天工科技簽訂專利交叉授權協議？
想都別想！
自己走過的路，當然要堵死！
他可不想有朝一日，突然冒出來一家公司，起訴星源科技侵權。
“好的老板，我知道構建專利生態壁壘的重要性。”林南立即應道。
他是滬城光學精密機械研究所的高級工程師，在行業內小有名氣。
之前，星源科技和華科協會下屬光電所聯手推進攻關計劃時，胡銳暉就向陳延森推薦了林南。
陳延森要錢給錢，要器材給器材，完全是一副財大氣粗的樣子。
林南在研究所蹉跎了十幾年，眼看民營公司的研究員都拿到了諾貝爾化學獎，他哪里還坐得住？
在收到陳延森的邀請后，二話不說，就加入了星源科技的光學研究實驗室，與光電所的院士們并肩作戰，試圖另辟蹊徑，尋找一種可商用的EUV光源激發方式。
起初毫無進展，直到陳延森指了一條天馬行空的路線。
用“電磁場”代替“激光”作為激發和約束等離子體的手段，在放電區域周圍設置一組超導磁體線圈，產生一個特殊的磁鏡場構型。
先用脈沖電流激發等離子體，再用多層反射鏡來收集13.5納米的波長，最后聚焦和輸出。
林南原本不以為然，但在研究一段時間后，他發現老板的方案并非是空想，而是具備極強的可實現性。
事實證明，這條路是對的！
“行，先這樣。”
陳延森極為平淡地掛了電話。
在他看來，光刻技術是個無比龐大的環節，除去光源部分，物鏡系統、雙工作臺、光刻膠等模塊也是重中之重。
搞定EUV光源的激發方式，不過是千里之行，才走一步而已。
另一邊。
林南暗自咋舌，表情有些失控，他其實很想再打回去告訴老板：“憑借這項技術，明年拿個國家最高科學技術獎，也不是沒有可能啊！”
可他轉念一想，深藍科技還有三個諾貝爾化學獎的獲得者，老板的反應平淡也很正常。
由于‘磁約束放電等離子體光源’是星源科技和華科協會的共同研究成果，消息在國內的科學界飛速傳開。
胡銳暉在得知后，猛地站起身，根本不敢相信。
“這才四個月不到，就特么有成果了？開什么玩笑？”
胡銳暉在辦公室里走來走去，竟破天荒地爆了粗口。
同一時間，哈工大光學實驗室和龍州光機所也收到了消息。
第一反應，假的！
可他們在反復驗證后，又不得不相信，星源科技和燕京光電所，還真把EUV光源技術給搞了出來。
并且，還成功繞過了阿斯麥、卡爾蔡司、山星、灣積電和Cymer構筑的專利防御墻。
兩個小時后，李青松接到胡銳暉的電話。
“先封鎖消息，讓安國協會的工作人員立刻趕到滬城，所有參與了研發過程的人員，一律簽署保密條例。”
李青松在明白這項技術的重要性后，臉色瞬間變得凝重起來，沖著一旁的秘書吩咐道。
他在星源科技身上，看到了國產光刻機崛起的希望！
“好的，李先生。”秘書不敢耽擱，抓起電話就開始聯系安國協會，將需要簽署保密條例的人員名單、對接流程一一梳理清楚。
李青松則站在辦公室的玻璃窗前，望著燕京灰蒙蒙的天空，不由地陷入了沉思。
星源科技在EUV光源領域的技術突破，像一道驚雷，劈開了自研光刻機路上的迷霧，可隨之而來的，還有無數即將襲來的暗流。
一旦消息泄露，阿斯麥、卡爾蔡司那些國際巨頭絕不會坐視不理，要么通過專利訴訟拖延進度，要么聯合供應鏈施壓，甚至可能動用盤外力量干預。
畢竟，半導體行業從來都不只是單純的技術競爭，背后牽扯著太多的利益博弈。
星源科技的發展讓人出乎意料！
與此同時。
滬城星源科技的光學研究實驗室里，林南正帶領團隊進行第三次穩定性測試。
屏幕上跳動的數據流顯示，13.5納米波長的極深紫外光輸出強度穩定在92以上，能量轉換效率為7.1，遠超阿斯麥所掌握的LPP光源。
這個數據，已經達到了商用標準！
但接下來，還有很多巨大的挑戰和不確定性。
比如，脈沖放電和等離子體本身會產生巨大熱量，旋轉靶和液膜都需要極強的冷卻能力，目前的熱管理技術就不匹配。
開辟一條新路，雖然可以獨享，但配套設備和技術都得自己慢慢摸索。
道阻且長！
傍晚時分，陳延森在下班后，并沒有回三角洲別墅區，而是趕到機場，乘坐灣流550飛往廬州。
明天下午兩點，天工科技將在廬州會議中心召開新品發布會，正式把天工B100和天工C100推向市場。
他自然不能缺席。
半個小時后，飛機降落在廬州新橋機場。
接著換乘一輛邁巴赫，朝著包河區的一間別墅駛去。
又過了三十分鐘，老黃才把車子緩緩停下。
只見一棟三層高的別墅矗立在眼前，占地面積200多平方米，地下一層，地上三層，建筑面積超過了800平方米。
自帶200多平方米的花園，與虛城的別墅有所不同，這間房子除了觀景水池外，還有一個露臺泳池。
兩年前買的，陳總一次都沒住過。
“老黃，明天下午一點來接我。”
陳延森下了車，隨口說了一句。
“好的老板。”
黃伯翔點頭應道，他的話越來越少，越來越像一名專業的司機。
不等陳延森開口，便自覺地把行李箱搬下來，幫老板推到客廳門口。
做完這些，轉身就走。
陳延森沒帶鑰匙，于是抬手敲了敲門。
屋外的葉秋萍早就聽到了動靜，之所以沒來開門，則是在忙著換衣服。
“咯吱”一聲！
包著銅皮的紅木大門應聲打開。
“老板，喜歡嗎？”
葉師傅穿著一襲青紗長裙，昂著頭，嘴巴微張，咬著一縷發絲，一臉嬌媚地問道。
一條尾巴藏在身后，甩來甩去。
“啪”！
陳延森一巴掌甩了過去，在葉師傅的屁股上狠狠打了一下，隨即走進客廳，懶洋洋地丟下一句話道：“把我行李箱拿進來，再簡簡單單做個四菜一湯。”
“噢。”葉秋萍捂著屁股，乖乖應了一聲。
雖說挨了打，可心里卻是甜絲絲的，恨不得陳延森再多打兩巴掌。
因為萌潔、宋允澄和自己都在廬州，可陳延森偏偏選擇來她這里，說明老板對她，偶爾也會多幾分不一樣的偏疼。
葉秋萍揉著被拍過的地方，嘴角的笑意藏都藏不住。
她快步走到門口，彎腰提起陳延森的行李箱。
陳延森坐在沙發上，分別給萌潔和宋允澄回了一條信息。
葉秋萍把行李箱放好，又趕忙拿起一雙男士拖鞋，噔噔噔地走到陳延森面前，幫他脫鞋、換鞋。
陳延森見她的尾巴搖來搖去，忍不住地伸手去抓。
葉師傅耳尖一紅，身體一軟，趴在陳總的膝蓋上，溫聲細語地說：“老板，你抓著人家的尾巴，我可就沒力氣給你做飯了。”
“那就先吃海鮮，再吃晚飯。”
陳延森扯了扯尾巴，葉秋萍的臉蛋就更加紅潤了，面若粉桃，雙眸泛起了瑩瑩水光。
次日，雷逸軍一早便趕到了機場，直奔廬州而去。
周弘毅、丁磊、賈耀亭和吳鴻欣同樣如此。
華為、中興、酷派和聯想等手機廠商，也紛紛派了代表前來。
天工A100的市場表現有目共睹，想來天工B100和天工C100的性能也不會太差。
高通為什么突然出壓天工科技？
還不是因為陳延森動了一些人的蛋糕。
自從星源科技成立后，就暴露了森聯資本在半導體行業的野心，既想掌控芯片設計環節，又想掌握芯片制造環節。
不少人覺得，陳延森太貪心，上到芯片，下到餐廳，什么錢都想賺，遲早翻車。
但在雷逸軍等人的眼里，陳延森確實有這個實力。
哪怕是面對高通的打壓，陳延森也表現得游刃有余，提前用二手光刻機訂單鎖定了格羅方德和聯華電子28納米制程的芯片產能，同時又用橙子科技的采購業務，一舉拉攏了聯發科和英偉達。
高通？
瞬間成了小丑！